金融界2025年7月28日消息，国家知识产权局信息显示，昂图创新有限公司申请一项名为“光学计量中的组合式建模和机器学习”的专利，公开号CN120380300A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，使用穆勒矩阵成对非对角元素来测量半导体装置中的复杂三维结构，以生成该装置的非对称参数的机器学习预测并且基于一个或多个穆勒矩阵元素和该非对称参数来确定尺寸参数。该装置的该测量可以以基于对该非对称参数和该尺寸参数的敏感度而选择的不同方位角执行。附加地，该穆勒矩阵元素可基于以相隔180°的方位角执行的测量来生成以消除来自测量工具的非对称噪声。该装置的一个或多个模型可与该穆勒矩阵元素一起使用来生成尺寸参数信息和任选地初步非对称参数。所确定的非对称参数可被前馈到用于确定该尺寸参数的该一个或多个模型，以抑制该装置的尺寸参数与非对称参数之间的相关性。
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